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Cesar
射頻等離子體發(fā)生器
產(chǎn)品特點(diǎn)
緊湊的流線(xiàn)型設(shè)計(jì)和標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái)封裝,易于更換
高效率 — 產(chǎn)生的熱量更少
RS-232、以太網(wǎng)和 Profibus 通信
有效的前面板配置,便捷的綜合操作菜單
CEX(相位同步)操作模式
產(chǎn)品描述
成熟可靠的 Cesar® 平臺(tái)可提供穩(wěn)定的射頻功率,能夠承受等離子體工藝中最苛刻的工藝條件。該平臺(tái)可熟練地處理高負(fù)載失配情況,在額定反射功率下仍能保持完全正常工作。Cesar 射頻發(fā)生器具有高度直觀(guān)的操作菜單,可從大尺寸前面板 LCD 上操作,能提高效率并最大限度地降低培訓(xùn)成本。
Cesar 射頻發(fā)生器提供多種可選型號(hào)(2、4、13.56、27.12 和 40.68 MHz;0.3 kW 至 5 kW),采用優(yōu)質(zhì)部件制造,實(shí)現(xiàn)最大可靠性和生產(chǎn)率。
產(chǎn)品應(yīng)用
蝕刻
沉積
半導(dǎo)體制造
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